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苏州SDE1220干式真空泵授权代理

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数： ...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数：

型号项目		SDE603TX
注１）MAX排气速度		10000 L/min
注１）极限压力		0.5 Pa
加速时间加速時間		35s
减速时间減速時間		Free Run
MAX进气口压力		大气压注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内
MAX排气背压（计示压力）		3kPa以下
电机输出功率		3.1kW
进气口（法兰）		ISO100
排气口（法兰）		ＮＷ25
润滑油量		1.2L（含氟油）

电源	电压	3相、200~220V 50/60 Hz 注３）允许电压变动值 ±10％
	容量	10.5 kVA
	运行电流	50A
	漏电流	约30 mA
冷却水	MAX供压（计示压力）	0.5MPa
	**小压差	0.3MPa
	流量	4~8 L/min
	供水温度	10~25 ℃
	放出热量	约 1800kJ/h
注４）氮气	向干泵供给压（规压）	0.1~0.7MPa
	流量	0~80SLM 干式真空泵批发就找浚和（上海）仪器有限公司。苏州SDE1220干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDL36E60
MAX排气速度（L/min）	60000
达到压力（Pa）	0.8
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	850×1295×1370
重量（kg）	920

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDL36E60主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。苏州MU100X干式真空泵价格半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）：

① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成：

1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1

2) 机械增压泵(KMB603) 1

3) 电源盒 1

4) 操作手柄1

5) 连接件 1

6) 消音器(SR-19) 1

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。

干式真空泵是未来行业发展的趋势，虽然现在用的还不多，除了价格高原因外，还有用户对干式真空泵的了解不到位，看不到带给企业的未来经济效益，但是干式真空泵使工作容积中无油，因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求，该泵无齿轮箱，同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间；

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浚和（上海）仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。苏州SDE1220干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200P/H
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.05KW
外型尺寸WHL [mm]	380×655×820
质量【kg】	185kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本苏州SDE1220干式真空泵授权代理

浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表，是一家贸易型的公司。公司业务分为真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念，在仪器仪表深耕多年，以技术为先导，以自主产品为重点，发挥人才优势，打造仪器仪表良好品牌。浚和凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑，让企业发展再上新高。