干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 干式真空泵的无油环保特点成为了他的一个重要因素。南京NEODRY 36E干式真空泵现货 |

日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU1200X |
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MAX排气速度(L/min) |
20000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.7KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
275×580×625 |
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质量【kg】 |
165kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU1200X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
南京NEODRY 36E干式真空泵现货干式真空泵的主要特点都有哪些呢?

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE303X |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
1.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
400×905×760 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE303X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。

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项 目 |
NeoDry Series Roots多段式干泵 |
涡旋式泵 |
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特 征 |
○ |
・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化 |
△ |
・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。 |
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维护性 |
○ |
・基本免维护 |
△ |
・需要定期的密封垫O/H(每年) (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。 |
△ |
・每年需要维护。 ・密封垫贵 ・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。 |
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水蒸气排气能力 |
○ |
・水蒸气排气能力高。 350g/hr/250g/hr (NeoDry36C/30C、15C) ・气镇阀对到达压力性能的影响小。 (有气镇阀时:2Pa以下) |
△ |
・泵结构上不适合水蒸气排气。 25g/day(1g/hr) 干式真空泵的不同系列会有不同的优势。南京NEODRY 36E干式真空泵现货 |
干式真空泵的好处您了解吗?南京NEODRY 36E干式真空泵现货
日本KASHIYAMA NEODRY 7E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 7E技术参数:
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式样 |
NEODRY 7E |
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MAX排气速度(L/min) |
110 |
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达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
单相AC200-220V |
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外型尺寸WHL [mm] |
196×219×360 |
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吸气口 |
KF40 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
54kg |
二、NEODRY7E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 7E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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4 |
气振阀(选配) |
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未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
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未包含 |
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6 |
入口过滤器(选配) |
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未包含 南京NEODRY 36E干式真空泵现货 |
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完全电子智能化设计,可以很方便地多方位与DCS系统联接,通过Modem联接可以实现就地和远程控制;辅助模块的模块化设计可以满足大量的乃至是苛刻的流程的应用;设计可以满足不同的压力要求:压力比可高达100,000:1(吸入压力