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上海SDL12E50干式真空泵维修

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面： 1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2）半导体...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵的优势您了解多少呢？上海SDL12E50干式真空泵维修

干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。成都干式真空泵报价浚和（上海）仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。

日本KASHIYAMA NEODRY 36E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 36E技术参数：

式样	NEODRY 36E
ZUI大排气速度（L/min）	600
达到压力（Pa）	1
电源电压	单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]	298×275×475
吸气口	KF40
噪声	≤60DB
排气口	KF25
质量【kg】	54kg

二、NEODRY36E 配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	NEODRY 36E主机一台，电压AC三相200V或者单相200V可选	1	标配
2	电源线	1	标配
3	产品合格证	1	标配
4	气振阀（选配）		未包含
5	消音器（选配）		未包含
6	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

日本KASHIYAMA MU1218P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1218P/H
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.4KW
外型尺寸WHL [mm]	870×380×751
质量【kg】	280kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1218P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本干式真空泵多种系列供您选择。

螺杆干式真空泵特征：

①可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。

②操作维护方便。

③动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。

④适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.

⑤多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性、有毒、含有粉尘、可凝性蒸汽等多种气体。樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。广州KASHIYAMA干式真空泵授权代理

干式真空泵的好处您了解吗？上海SDL12E50干式真空泵维修

日本KASHIYAMA MU180X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU180X
MAX排气速度（L/min）	3000
达到压力（Pa）	1.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.5KW
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	95kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU180X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

上海SDL12E50干式真空泵维修

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