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东莞SDL12E50干式真空泵

日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.7KW
外型尺寸WHL [mm]	275×580×625
质量【kg】	165kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

干式真空泵的主要特点有很多。东莞SDL12E50干式真空泵

Kashiyama防腐蚀干式真空泵SDE1203技术参数

型号项目		SDE1203TX
注１）Max排气速度		20000 L/min
注１）极限压力		0.5 Pa
加速时间加速時間		35s
减速时间減速時間		Free Run
Max进气口压力		大气压注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内
Max排气背压（计示压力）		3kPa以下
电机输出功率		3.2kW
进气口（法兰）		ISO100
排气口（法兰）		ＮＷ25
润滑油量		1.2L（含氟油）

电源	电压	3相、200~220V 50/60 Hz 注３）允许电压变动值 ±10％
	容量	11 kVA
	运行电流	50A
	漏电流	约30 mA
冷却水	Max供压（计示压力）	0.5MPa
	Max小压力	0.3MPa
	流量	4~8 L/min
	供水温度	10~25 ℃
	放出热量	约 1800kJ/h
注４）氮气	向干泵供给压（规压）	0.1~0.7MPa
	流量	0~80SLM 成都NEODRY 60E干式真空泵现货干式真空泵的系列有很多种。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样	SDE120TX
ZUI大排气速度（L/min）	1500
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	6.5KVA
吸气口	NW50
排气口	NW40
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	151kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE120TX主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

日本KASHIYAMA MU1200P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200P/H
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	1.05KW
外型尺寸WHL [mm]	380×655×820
质量【kg】	185kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。

日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE303X
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	1.5KW
外型尺寸WHL [mm]	400×905×760

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE303X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。成都NEODRY 60E干式真空泵现货

干式真空泵的主要特点都有哪些呢？东莞SDL12E50干式真空泵

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）：

① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成：

1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1

2) 机械增压泵(KMB603) 1

3) 电源盒 1

4) 操作手柄1

5) 连接件 1

6) 消音器(SR-19) 1

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