企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:

型 号

项 目

SDE603TX

注1)MAX排气速度

10000 L/min

注1)极限

0.5 Pa

加速时间 加速時間

35s

减速时间 減速時間

Free Run

MAX气口

大 气 压

注2)在330kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内

MAX排气背压(计示压力)

3kPa以下

出功率

3.1kW

气口(法

ISO100

排气口(法

NW25

滑油量

1.2L(含氟油)

   

3相、200~220V

50/60 Hz

注3) 允许电压变动值 ±10

容  量

10.5 kVA

运行

50A

30 mA

冷却水

  MAX供

(计示压力)

0.5MPa

**小

0.3MPa

流  量

4~8 L/min

供水温度

10~25

放出热量

1800kJ/h

注4)

氮 气

向干泵供给压

(规压)

0.1~0.7MPa

流  量

0~80SLM 浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。东莞樫山干式真空泵授权代理


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日本KASHIYAMA MU1218X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU1218X

MAX排气速度(L/min)

20000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

O.9KW

外型尺寸WHL [mm]

870×380×751

质量【kg】

270kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU1218X主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本  无锡干式真空泵授权代理买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和(上海)仪器有限公司。

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干式螺杆真空泵选型

干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

选择真空机组:

了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。


KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):

SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成:

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1   

2) 机械增压泵(KMB603) 1   

3) 电源盒  1   

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1   

6) 消音器(SR-19) 1


干式真空泵的好处有很多。

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干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,但是干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间;


干式真空泵的主要优势是。常州NEODRY 15E干式真空泵代理商

浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵产品种类繁多。东莞樫山干式真空泵授权代理

干式真空泵与油泵的性能比较:

项   目

NeoDry Series

干式真空泵

油  泵

特  征

不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。

使用油密封得不到干净的真空。

排气时会在排气口产生油雾。

根据使用情况,密封用油中会混入水蒸  气·溶剂使油质变差影响性能。

泵的周围会因油雾污染环境。

维护性

基本上免维护

因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。

  (根据使用情况,需要频繁更换)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。    长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更  换部件。

油需定期更换产生费用。

  (使用氟油的情况费用较高)

需要更换叶片及阀门。

  (因叶片为接触式)

初始投资成本

与油泵相比相对较高。

与干泵相比较便宜。

**设备费用

不需要油雾凝气阀

需要油雾凝气阀。

需要油盘。

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