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日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数： ...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA SDE20M12TX干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE20M12TX
MAX排气速度（L/min）	30000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	460×960×900

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE20M12TX主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。北京干式真空泵授权代理

日本KASHIYAMA MU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU600P/H
MAX排气速度（L/min）	10000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.95KW
外型尺寸WHL [mm]	350×520×630
质量【kg】	130kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU600P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本深圳SDL12E50干式真空泵维修买日本樫山工业干式真空泵选择浚和（上海）仪器有限公司。

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）：

① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

2、系统组成：

1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1

2) 机械增压泵(KMB603) 1

3) 电源盒 1

4) 操作手柄1

5) 连接件 1

6) 消音器(SR-19) 1

Kashiyama防腐蚀干式真空泵SDE1203技术参数

型号项目		SDE1203TX
注１）Max排气速度		20000 L/min
注１）极限压力		0.5 Pa
加速时间加速時間		35s
减速时间減速時間		Free Run
Max进气口压力		大气压注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内
Max排气背压（计示压力）		3kPa以下
电机输出功率		3.2kW
进气口（法兰）		ISO100
排气口（法兰）		ＮＷ25
润滑油量		1.2L（含氟油）

电源	电压	3相、200~220V 50/60 Hz 注３）允许电压变动值 ±10％
	容量	11 kVA
	运行电流	50A
	漏电流	约30 mA
冷却水	Max供压（计示压力）	0.5MPa
	Max小压力	0.3MPa
	流量	4~8 L/min
	供水温度	10~25 ℃
	放出热量	约 1800kJ/h
注４）氮气	向干泵供给压（规压）	0.1~0.7MPa
	流量	0~80SLM 干式真空泵的主要特点是：清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。

但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。浚和（上海）仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。常州樫山干式真空泵价格

干式真空泵的好处您了解吗？北京干式真空泵授权代理

型号	ＮｅｏＤｒｙ7E	ＮｅｏＤｒｙ15E	ＮｅｏＤｒｙ３0E	ＮｅｏＤｒｙ３6E	ＮｅｏＤｒｙ60E
Zui大排气速度	120L/min	250L/min	500L/min	600L/min	1000L/min
电源式样注1）	单相：200-240V/三相：200-240V
到达压力	5．0Pa	１．０Pa
Zui大允许进气压力	大气压
Zui大水蒸气处理量注2）	注3） 120ｇ／ｈ	250g/h 注3）		注3）３５０ｇ／ｈ	注3） 600ｇ／ｈ
使用电动机	０．４ｋＷ			０．７５ｋW	1.5ｋW
进气口径	KF２５（法兰接头）		KF４０（法兰接头）
排气口径	KF２５（法兰接头）
概略重量	19ｋｇ	23 ｋｇ	25 ｋｇ	54 ｋｇ	56kg
噪音（dB(A)）	≤５６			≤58	≤60
注１）如使用其他电源，请与我司联系。注２）水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀（选配）。注３）气镇阀（选配）全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为１０Pa左右。北京干式真空泵授权代理

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