有点真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求 有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。干式真空泵的好处有很多。北京SDE1220干式真空泵维修

日本KASHIYAMA MU300P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU300P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.9KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
350×520×630 |
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质量【kg】 |
110kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU300P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
深圳NEODRY 36E干式真空泵报价KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。

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型号 |
NeoDry7E |
NeoDry15E |
NeoDry30E |
NeoDry36E |
NeoDry60E |
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Zui大排气速度 |
120L/min |
250L/min |
500L/min |
600L/min |
1000L/min |
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电源式样 注1) |
单相:200-240V/三相:200-240V |
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到达压力 |
5.0Pa |
1.0Pa |
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Zui大允许进气压力 |
大气压 |
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Zui大水蒸气处理量 注2) |
注3) 120g/h |
250g/h 注3) |
注3) 350 g/h |
注3) 600g/h |
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使用电动机 |
0.4 kW |
0.75kW |
1.5kW |
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进气口径 |
KF25(法兰接头) |
KF40(法兰接头) |
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排气口径 |
KF25(法兰接头) |
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概略重量 |
19kg |
23 kg |
25 kg |
54 kg |
56kg |
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噪音(dB(A)) |
≤56 |
≤58 |
≤60 |
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注1)如使用其他电源,请与我司联系。 注2)水分或凝性气体抽取时需使用气镇阀(选配)。 注3) 气镇阀(选配)全开时的Zui大水分处理量。但气镇阀全开时到达压力为10Pa左右。 |
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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL20E60 |
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MAX排气速度(L/min) |
40000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
850×1295×1370 |
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重量(kg) |
800 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDL20E60主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。北京KASHIYAMA干式真空泵现货
干式真空泵的无油环保特点成为了他的一个重要因素。北京SDE1220干式真空泵维修
日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE303X |
|
MAX排气速度(L/min) |
5000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
1.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
400×905×760 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE303X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 北京SDE1220干式真空泵维修
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