1、分析器：180°双聚集半球分析器；128通道检测器 2、X射线单色器可选择30 μm至400 μm大小的分析区域，步长 5 μm 3、离子***：能量范围100至4000 eV 4、四轴样品台：60 x60毫米样品区域；比较大样品厚度20毫米上海直销X射线光电子能谱XPS
X射线光电子能谱技术（XPS）是电子材料 与元器件显微分析中的一种先进分析技术，而且是和俄歇电子能谱技术（AES）常常配合使用的分析技术。由于它可以比俄歇电子能谱技术更准确地测量原子的内层电子束缚能及其化学位移，所以它不但为化学研究提供分子结构和原子价态方面的信息，还能为电子材料研究提供各种化合物的元素组成和含量、 化学状态、分子结构、 化学键方面的信息。上海直销X射线光电子能谱XPS
1、 X射线单色器可用于化学态高分辨分析 2、 微聚焦X射线探针可用于绝缘材料的分析 3、 先进的光学观察系统可用于对中样品上微小结构和污染点分析位置 4、 聚焦深度剖析离子源可用于单层和多层膜分析 5、 一键式中和系统可用于精确的小面积分析 6、 128通道探测器用于快速并行快照式采集数据
X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。
素的定性、定量分析；元素价态鉴定；固体表面组成、化学状态分析；化合物结构分析；富集法微量元素分析；分子生物化学等。上海直销X射线光电子能谱XPS
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X射线光电子能谱（XPS）在分析电子材料时，不但可提供总体方面的化学信息，还能给出表面、微小区域和深度分布方面 的信息。 另外，因为 入射到样品表面的X射线束是一种光子束，所以对样品的破坏性非常小。这一点对分析有机材料和高分子材料非常有利。上海直销X射线光电子能谱XPS
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