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密集小孔加工是传统加工里面很难的技术,其介于传统加工和微细加工之间。在很多国家的研究室里,都有这方面的研究。虽然激光可以用来加工直径很小的孔,但是,如果用激光的话,会是一个喇叭口一样的微孔,残渣多。用电火花是不错的选择,小的可以加工0.15mm直径的微孔,但是其微孔孔壁会留下再铸层,从而影响微孔的使用寿命,使得微孔的孔壁表面质量发生恶化;用机械钻孔的化,其1,钻头非常容易断,其2,在微孔的出口处会留下毛刺,这种毛刺会影响使用效果。我们从事蚀刻工艺加工微孔加工研究10多年,积累出了一点关于加工微孔的心得。我们加工的微孔:孔径小的为80um,孔壁粗糙度为0.02,深度1mm,且没有毛刺。上海加速栅屏栅微孔加工