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半导体晶圆搬运设备是指通过机器自动搬运,将晶圆从工序A的晶圆盒子或容器中移动道工序B的晶圆盒子或容器中。在这个过程中,晶圆储片盒或容器中的晶圆被高速地、清洁地搬运和处理。狭义来说,半导体晶圆搬运设备只指单一半导体自动搬运机器,广义来说半导体搬运设备应当为半导体自动物料搬运系统。半导体晶圆厂按功能不同可分为两种型态,一为晶圆代工(Foundry Fab),其生产策略为客户下单后按其交货期来投片。另一为单一产品如DRAM、SRAM厂,生产策略为大量投片,大量产出。不论是哪种晶圆生产厂,其晶圆生产的流程和生产区域部件基本一致。这些流程经过不断重复加工,直至完成产品,在经过电性测试合格后,出货给下游客户。在重复的过程中,各个环节之间晶圆运输的高效和洁净对成品的品质影响巨大。
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