电子特气系统服务于芯片、面板、微电子加工行业，用于输送纯度要求严苛的特种工艺气体，整套系统由特气柜、纯化装置、分配管路、调压阀组、监测报警模块组成。管路选用电解抛光不锈钢管材，内壁粗糙度偏低，气体吸附量微弱，能够维持气体纯净度。特气柜采用密闭防爆结构，柜体内部布设排风夹层，及时排出微量渗漏气体。阀体选用隔膜密封结构，密封严实，不会出现气体... 【查看详情】

尾气处理系统的喷淋洗涤塔采用立式圆柱形结构，塔身材质耐酸碱腐蚀，适配各类腐蚀性尾气处理。塔身内部布设多层喷淋管道，喷嘴排布均匀，雾化药液细密，增大气液接触面积。塔内填料层规整堆叠，支撑结构稳固，长期受气流冲刷不会坍塌晃动。塔身侧面开设检修人孔，工作人员可进入塔内清理填料、检修喷嘴。塔底储液仓储存中和药液，循环水泵抽取药液向上喷淋，形成往复... 【查看详情】

可燃/有毒气体探测器负责对生产现场的各种气体的检测，并将采集的气体浓度转换成模拟信号。数据采集模块将采集到的信号，以串行通讯的方式传送至GDS控制单元上，GDS控制单元根据检测值分别与各自的报警上/下限进行比较，当某个探测器检测到的浓度超过上限或低于下限时，GDS控制单元通过DO模块输出报警信号，开启声光报警器并开启或关闭相关设备。操作人... 【查看详情】

尾气处理系统的风机采用防腐离心结构，叶轮、机壳选用耐蚀材质，适配腐蚀性废气输送。风机进风口加装防护滤网，阻挡固体杂质进入风机腔体，避免叶轮磨损失衡。风机底座加装减震垫片，弱化运转产生的震动，降低噪音传导。出风口采用柔性连接结构，缓冲管路应力，防止硬性连接造成的管路开裂。风机转速可变频调节，适配不同尾气排放量，灵活调控排风速率。工作人员定期... 【查看详情】

废气处理特性半导体工艺中常使用的化学物质及其副产物,一般依照其化学特性与其不同的影响范围,可分为:1.易燃性气体如SiH4、H2等2.毒性气体如AsH3、PH3等3.腐蚀性气体如HF、HCl等4.温室效应气体如CF4、NF3等。由于以上四种气体对环境或人体皆具有一定的危害性,必须防止其直接排放大气中,所以,一般半导体厂都以加装大型废气处理... 【查看详情】

尾气处理系统广泛应用于电子制造、光伏加工、精细化工等生产行业，专门针对工艺产出的废弃气体开展无害化处理，减少未处理废气直接排放对周边环境造成的影响。系统由进气汇集管路、前置过滤单元、反应处理腔体、药剂补给装置、排风排放管路以及智能监测模块组合而成。生产过程中产生的工艺尾气，通过专门密闭管路统一汇集输送至处理设备，杜绝尾气无组织扩散的情况。... 【查看详情】

工业集中供气系统的气体干燥装置采用吸附式除湿结构，内部装填多孔干燥耗材，吸附气体内部水分子。耗材分层装填，气流穿透均匀，不会出现局部气流短路现象。装置进出口设置压差监测仪表，通过压差数值判断耗材堵塞程度，为更换耗材提供参考依据。装置外壳做耐压处理，适配工业高压气体输送工况。干燥腔体可拆卸拆分，拆装流程简易，便于工作人员更换干燥填料。装置旁... 【查看详情】

电子特气系统的压力缓冲罐用于平衡管路气压波动，罐体内部空腔规整，气流进入后流速放缓，压力逐步趋于平稳。罐体进出口采用错层排布方式，延长气体滞留时间，强化稳压效果。罐体内壁做电解抛光处理，减少气体吸附残留，适配高纯气体储存。罐体底部设置排污阀，可排出沉积的微量杂质与水分。罐体外部粘贴压力警示标识，标注罐体额定承压范围。运维人员定期检测罐体承... 【查看详情】

工业集中供气系统整合厂区分散气源，将各类生产用气统一储存、统一调控、统一输送至车间用气点位，替代传统零散气瓶摆放模式。系统由气源储存区、预处理过滤单元、稳压调控阀组、主干输气管网、分支控制阀以及监测终端组成。厂区外部设置单独气源站，隔绝生产加工区域，规避气体聚集带来的安全隐患。气源站内部铺设防腐地面，搭配排水结构，防止积水浸泡设备构件。气... 【查看详情】

实验室气路系统针对腐蚀性实验气体做专项优化，管路内壁做抛光钝化处理，提升耐蚀能力，减缓酸性、碱性气体对管壁的侵蚀。阀体内膜选用适配腐蚀介质的特种材质，不会长期接触气体出现溶胀、硬化破损。管路布设远离水源、水槽，避免水汽飞溅附着管路，造成金属表层氧化。实验台终端接口加装防尘密封帽，闲置状态下封堵管口，防止灰尘、水汽进入管路内部。系统压力仪表... 【查看详情】

实验室气路系统适配各类科研实验场景，为理化分析、材料检测、生物研究等设备输送适配气源，整套系统依托密闭管路构建完整供气链路。系统选用的不锈钢管材化学性质稳定，不易与各类实验气体产生化学反应，从材质层面规避气体污染问题。管路安装前期会开展酸洗、高压吹扫作业，消除管壁内部残留的油污、金属碎屑，减少杂质对实验检测数据的干扰。系统采用分级减压模式... 【查看详情】

尾气处理系统广泛应用于电子制造、光伏加工、精细化工等生产行业，专门针对工艺产出的废弃气体开展无害化处理，减少未处理废气直接排放对周边环境造成的影响。系统由进气汇集管路、前置过滤单元、反应处理腔体、药剂补给装置、排风排放管路以及智能监测模块组合而成。生产过程中产生的工艺尾气，通过专门密闭管路统一汇集输送至处理设备，杜绝尾气无组织扩散的情况。... 【查看详情】